エスクラフト製品概要

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プラズマ装置

バッチ式プラズマ処理装置WPA-600Sdetail
WPAは同軸バレル構造の50枚バッチ式プラズマ処理装置です。
価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサにより、各種アッシング条件の管理を行うことが出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置です。
枚葉式プラズマ処理装置WLP-611S,WLP-600Sdetail
WLPは多様化したアプリケーションに対応する為、RFパワーを下部電極に印加(RIE方式)又は、上部電極に印加(DP方式)を実現しております。
6〜8インチのSi、Poly-Siなどのエッチングやポリミド系樹脂のエッチング及びフォトレジストのアッシングなど多種多様なプロセスに御利用頂けます。
バッチ式プラズマクリーナーPT-655Sdetail
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。
コントロール・パネル上の操作のみでDP(ダイレクトプラズマ)モードとRIE(リアクティブイオンエッチング)モードの2つのプラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセス用途に利用できます。
御客様仕様カスタム製品プラズマクリーニング装置detail
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。
コントロール・パネル上の操作のみでDP(ダイレクトプラズマ)モードとRIE(リアクティブイオンエッチング)モードの2つのプラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセス用途に利用できます。