プラズマ装置・ソレノイドの製造｜株式会社エスクラフト

ＷＰＡは同軸バレル構造の５０枚バッチ式プラズマ処理装置です。

価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサにより、各種アッシング条件の管理を行うことが出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置です。

ＷＰＡの装置では、シリンコンウェハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマにより、低ダメージで灰化除去（アッシング）及び表面改質などの多様なプロセス用途に利用出来るフルオートマチックドライアッシング処置装置です。

製品の特徴

高速追従性

小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。

省フットプリント

クリーンルーム占有面積　　６４０（Ｗ）×１３４０（Ｄ）
本体以外はＰＵＭＰのみの省スペース化を実現。

低ダメージ化

同軸給電方式により高密度のＯ2プラズマを発生させております。処理室内は同軸アノード電極を内部に設置しており、ウェハが直接さらされる事はありません。荷電粒子によるダメージが少なく、集積回路の安定性を損なう危険性の極少化を実現しております。又、処理室をヒータ加熱する事によりプロセス精度の向上とヒートアップ時の短縮を可能としました。

多種多様なカスタマイズ性

基本的なプラットフォームを利用して御客様の様々な要求に応じた対応を致します。

将来的な収束問題の解消

制御系にはシーケンサを使用しており、ＰＣのモデルチェンジ等にありがちな収束問題も解消出来ます。

詳細仕様

仕 様
処理方式	同軸バレル型
処理室	円筒・縦型・石英チャンバー
ＲＦ電源	600〜2000Ｗ 13.56ＭＨｚ　オートチューニング
処理ガス	Ｏ２　1系統増設可（オプション）
パージガス	Ｎ２
処理ステップ	10レシピ（3ステップ）＋10ヒーターレシピ
ウエハーサイズ	6〜8インチ （オプション　4インチ又は5インチと兼用可）
ウエハー搬送方式	垂直動作　カセットエレベータ 水平・旋回動作　2フィンガー吸着方式クリーンロボット
本体寸法	W640×D1340×H1900
本体重量	500kg

■配管フロー図      ■処理システム図