エスクラフト製品概要

【プラズマ装置・ソレノイド】S-CRAFT HomeS-CRAFT Products 製品概要 > バッチ式プラズマクリーナーPT-655S

プラズマ装置

バッチ式プラズマクリーナーPT-655S

本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。
コントロール・パネル上の操作のみでDP(ダイレクトプラズマ)モードとRIE(リアクティブイオンエッチング)モードの2つのプラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセス用途に利用できます。

応用例
・プラスチックパッケージ、ハイブリッドICなどの表面改質
・フォトレジストアッシング
・繊維や高分子材料などの表面改質

製品の特徴
容易なプラズマモード切替

RIE(Reactive Ion Etching)⇔DP(Direct Plasma)がコントロールパネル上の操作のみで切り替え可能です。

高速追従性

小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。

省フットプリント

クリーンルーム占有面積  880(W)×880(D)
本体以外はPUMPのみの省スペース化を実現。

将来的な収束問題の解消

制御系にはシーケンサを使用しており、PCのモデルチェンジ等にありがちな収束問題も解消出来ます。

多種多様なカスタマイズ性

基本的なプラットフォームを利用して御客様の様々な要求に応じた対応を致します。

試料棚

処理室内に試料棚を複数段装備しております。最大4段使用可能。

詳細仕様
仕 様
処理方式 平行平板プラズマ励起方式(DP/RIE切替可)
処理室 アルミニウム(A5052)製
ステージ段数 標準3ステージ(オプション 増設1ステージ対応可)
チャンバー寸法 幅500×奥580×高500mm
ステージ寸法 幅340×奥420mm
RF電源 600W 13.56MHz オートチューニング
処理ガス O2、Ar(オプション 1ライン増設可)
マスフローコントローラによる流量制御
パージガス N2(スローライン有)
処理ステップ 10レシピ(3ステップ)
真空ポンプ ロータリーポンプ 1300L/min
本体寸法 幅880×奥880×高1600mm
本体重量 約400kg

■配管フロー図      ■外形寸法図